流量校准的应用案例

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一、引言　　

　　气体流量的检测和校准通常在很多行业都有特殊的应用，例如半导体制造，汽车发动机的尾气检测，有气体流量的科研和产品研发等等。这里我们介绍一个有关于半导体行业的应用。

二、流量校准的主要仪器构成

福禄克计量校准部的流量校准系统由流量测量的主机和标准流量元件（层流元件或音速元件）构成。

（1）流量测量主机Molbox-1+

流量测量主机的功能就是配合标准流量元件精确地测量气体质量流量。

（2）标准流量元件（层流元件Molbloc-L和音速元件Molbloc-S）

标准流量元件是气体质量流量的核心测量元件。其内部具有流量测量的精密构造，并且还有精密的电子芯片。层流元件和主机通过电缆连接从而实现精密的气体流量测量。标准流量元件有两大类，中小流量和大流量。而每一类又有多个量程。因此需要根据要测量的具体流量情况来选择不同的标准流量元件模块。

（3）连接配套附件及软件

MFC(质量流量控制器)控制器和MFC扫描开关。这是一对配套使用的附件。一般的配置在测量流量控制模块MFC的时候，只能测量一个。如果配套了这个附件，可以自动连续测量5个流量控制器模块。实现自动化的测量，提高测量的效率。如果在选择流量测量主机的时候选择了流量控制器MFC的选件，那么只需要选择购买MFC扫描开关就可以实现最多五个流量控制器的自动化校准。

标准流量元件安装台Molstic。其作用是将测量元件以及被测量的流量控制器固定在一起，并具有压力精密调节阀，给系统提供更加稳定的流量，便于校准。安装台上还具有用于防止污染的气体过滤器和气体截止阀，方便操作。该安装台有大流量和小流量两种型号（Molstic-L和Molstic-S），要根据实际情况来选择。

三、技术指标

对于校准来说，技术指标是最为关键的。因为是要符合有关计量校准的规程或规则。Molbox1+与Molbloc构成的气体质量流量校准系统的测量不确定度是±0.2%。绝大多数的流量控制器（MFC）的准确度都是±1%至±5%之间。而1%准确度的MFC属于高等级的控制器，价格也比较贵。迈凯公司提供的福禄克流量校准系统的准确度要高出最高等级的控制器5倍以上，足以满足计量校准的不确定度比（TUR）的要求。如果用户需要更高的准确度，我们还提供可以不确定度达到0.125%的系统，为满足更高准确度要求的应用。关于具体的量程和准确度，请联系我们以便提供更加详细和准确的技术分析。